真空熱處理即真空技術與熱處理兩個專業相結合的歸納技術，是指熱處理工藝的悉數和部分在真空狀態下進行的。我國將真空劃分為低、中、高和超高真空。
真空爐和中頻電爐在熱加工范疇有著很好的發展前景，用于：透熱、軋制、鍛造、彎管、熱處理（淬火）、焊接等工藝的感應加熱。那么真空爐和中頻電爐的熱處理技巧是什么呢？
1.真空爐處理鈦合金時，不宜用氮氣作為冷卻氣體，因為鈦和氮在高溫下反響，構成金黃色的氮化鈦。
2.真空爐活動銜接部分悉數采用O型橡膠圈密封銜接，此部分均通水冷卻。
3.工件在真空狀態下淬火，應運用真空淬火油，此油具有較低的飽和蒸氣壓。
4.真空爐的保養應在真空或充純氮狀態下，避免平時不用時吸氣，吸潮。
5.國內真空爐的壓升率應不大于1.33Pa/h，國外某些企業的標準為0.67Pa/h
6.真空加熱以輻射為主，工件在爐內應該堅持間距。
7.升溫過程中，工件及爐內材料會放氣，使真空度下降。
8.真空回火、真空退火、真空固溶處理及真空時效的加熱溫度一般與慣例處理時加熱溫度相同。
9.真空回火爐應該具有快冷裝置。冷卻水的壓力應該大于0.2Mpa，流量應可調。
10.冷卻氣體：鋼一般采用百分之99.995純度的氮氣，高溫合金采用百分之99.999的氮氣或氬氣，鈦合金采用百分之99.995的氬氣。
11.升溫：放入工件后，一般先預抽至6.67Pa時方可升溫加熱。
