結構簡單，爐罐不進行水冷，故稱為熱壁真空爐或真空馬弗爐。零件放在已抽成真空的爐罐中，從外部間接加熱。
該類真空爐的特點如下：
①結構簡單，操作維修方便，造價低；
②爐罐內無電熱元件和隔熱材料等，易于清理，容易獲得真空；
③無氣體放電和其他安全隱患，可靠性好。
真空爐靠電阻加熱，加熱元件、隔熱屏、爐床和其他構件等均裝在加熱室內，依靠電極的熱輻射實現對零件的加熱。電熱元件在爐膛的中部構成一個加熱區，確保零件的均勻加熱，在加熱元件的外部裝有金屬輻射屏或非金屬隔熱屏，爐床在加熱區的中央。內熱式真空爐的種類和形式很多，占國內外的真空爐數量的80%以上，常用于退火、淬火、回火、燒結和釬焊等。
同外熱式的真空爐相比，具有以下特點：
①爐子的熱慣性小，加熱速度快和冷卻速度快，熱效率和生產效率較高；
②無耐熱爐罐，故可制作的爐膛不需受到限制，容量也不受限制，爐內可達到更高的溫度；
③爐溫的均勻性好，可達±5℃，因此工件受熱均勻，零件的變形??；
④零件加熱期間不需通入保護氣體，提高了加熱元件的使用壽命；
⑤爐內結構復雜，加熱區受到一定的限制；
⑥爐體體積大，需要配備的真空系統容量要增大。
